DIY RF Sklopka Plasma

Atomi so sestavljeni iz pozitivno nabita jedra obdan z oblakom negativno nabitih elektronov. Včasih atomi lahko pridobijo ali izgubijo elektrone , ki vodi v njihovo pridobitev neto pozitivni ali negativni naboj . Atom z naboj je znan kot iona . Plazma jeoblak ionov , in ti imajo lahko številne namene v predelovalni polprevodniškimi industriji . Plazma se lahko proizvaja znotraj Argon injekcijski vakuumski komori z oskrbo z električno energijo , ki ustvarja radijsko frekvenco (RF) radiation.Things boste potrebovali
RF vakuumsko komoro z argonom regulator pretoka
Rotary črpalka jezik Turbo črpalka
RF napajanje
RF vezje,
2 radijskemu kable
Proste Prikaži več Navodila

1

Vklopite rotacijsko črpalko in počakajte , da tlak priti do 10 ^ -3 milibarov . Preklopite na turbo črpalke in počakajte, da pospešite . Počakajte, da tlaku približno 10 ^ -6 milibarov je dosežen .
2

Priključite RF kabel med RF ujemanje enoto in RF napajanja . Priključite drug kabel med RF ujemanje enoti , in RF vakuumski komori vtičnico elektrod.
3

Delno zapriventil na turbo črpalke. Vklop regulator pretoka argonom in določi tlaku 15 milibarov . Vklopite napajanje RF in ujemanje enoto. Nastavite izhodne moči 50 vatov . Prilagodilni element je slišal, saj poskuša zmanjšati odraža moči RF . Ko jeizražena moč manj kot 1 odstotek prednjega moči , povečanje izhodne moči približno 150 vatov . Plazme v komori mora zasvetiti in biti viden , čepravkomora view- port . Počasi zmanjšujejo naprej moč nazaj do 50 vatov . RF par plazma je ustvarjena .