Kako odstraniti Plasma Etch polimerov

Kokemik ali električar želi spremeniti kemične in fizikalne lastnosti površine integriranega vezja rezin , je znan kot predelava plazme . Ena od oblik te obdelave se imenuje plazemsko jedkanje , ki uporablja odvajanje žarečo (znan kot plazma) iz določenega plina . Praznjenja se sprosti impulzov v toku veliko hitrostjo direktno na primer vezave . Vir plazme , znan kot Rezati vrst , lahko eno od dveh lastnosti – v breme , ki so razvrščeni kot ionov ali nevtralna , ki je sestavljen iz atomov in radikalov . Kot se obdelovanje jedkanju , boizpust se pretakajo na vezju ustvariti hlapnega ostanek etch kot posledica kemične reakcije med jedkanim materiala ter vrsta ETCH s plazmo ustvarja. Fizikalne in kemijske lastnosti vezja, pa so sčasoma spremenilo atomi iz toka plazme pripenjanju ali prodrejo v površino. Odvisno od plina, ki se uporablja za tok plazme , lahko plazmo Rezati polimer tvori kot ostanka po process.Things boste potrebovali
integriranih vezij, rezin
Plasma Rezati polimerno odstranjevalec ( PRX – 127 )
težka rokavice
kirurške maske
zaščitna očala ali očala
Slačenje cisterne
Deionizirano (DI), rezervoar vode za izpiranje
spin za lase ali spin- izpiranja lase
Proste Pokaži več navodila

1

Plasma Rezati polimer bo verjetno nastane po uporabi obdelavo Rezati plazme s podlago fluoriranih plinov, kot sta ogljikov hydrotrifluoride in octafluoropropane . Ti plini ustvarjajo nenasičenih spojin v plazmi , ki se nato prenese na integriranih vezij , rezin . Te je treba odpraviti, da bi za nadaljnjo predelavo v plazmi za nadaljevanje.
2. Bodite izredno previdni okoli nevarnimi kemikalijami .

Plasma Rezati polimerno odstranjevalec , ki je znan kot PRX -127 , jekemična spojina, sestavljena iz elementov etra , sulfoksidov in hidroksid , in je zelo nevarna za dihati ali stiku. Priporočljivo je , da je treba , preden poskušate uporabo tega izdelka , je treba nositi rokavice , očala in masko . Proces potapljanja mokro klop je eden izmed varnejših načinov za obravnavo te spojine , in zahteva zelo malo fizično interakcijo .
3

Izpolnite dve stripping cisterne , ki so izdelane posebej za mokro klop Postopek z raztopino PRX – 127 in segrejemo do temperature od 70 do 90 stopinj Celzija . Postavite prizadete rezin vezja skrbno v enega od tankov , ki uporabljajo zaščitne rokavice . Vaflji morajo ostati v raztopini vsaj pet minut , vendar ne več kot 20 minut za optimalni učinek . Metoda stresanja temelji na zvočni mehanski ali je v prvi kopeli priporočamo.
4

Prenos rezine iz prvega stripping rezervoarja vdrugega , kokopel cikel je popolna, in spet vpijejo oblati za pet do 20 minut brez dodatnega mešanja. To drugo kopel bo odpravila obstoječe plasti polimera pod ostanka na površini rezine .
5 deionizirana voda popolnoma čista voda , brez drugih mineralov .

Odstrani rezine iz raztopine PRX – 127 in jih prenesti na tretjo napolnjeni s SVC- 300 izpiranju , rešitev, ki se uporabljajo predvsem za odstranjevanje barve . To je zelo varna za uporabo , saj je toksičen in negorljiva in ne poškoduje rezin . Vaflji morajo ostati v tej rešitvi za dve do tri minute . Prenos rezin v končni rešitvi – deionizirane vode – v notranjosti rezervoarja izpiranja za šest do osem ciklov , nato pa uporabite spin za lase ali spin- izpiranja lase , da odstranite vse sledi rešitve . Rezine morajo biti popolnoma brez polimerov , in so zdaj na varnem , da se ponovno uporabi za nadaljnjo predelavo v plazmi jedkano .